لایه‌نشانی به روش تبخیر حرارتی

لایه‌نشانی(روش تبخیر حرارتی(Thermal Evaporation))

تبخیر حرارتی یکی از روش های پرکاربرد و محبوب در بین روش های لایه نشانی است. سادگی عملکرد و سرعت مناسب از جمله نقاط قوت این روش لایه نشانی است. لایه نشانی به این روش از جمله روش‌های فیزیکی لایه نشانی تحت خلاء است (Physical Vapor Deposition (PVD)) که در حین آن طی یک فرایند فیزیکی، لایه نازک روی بستر مورد نظر نشانده می شود.

ماده مورد نظر درون منبع تبخیرمثل یک بوته قرار می‌گیرد؛ در اثر عبور جریان الکتریکی از بوته، ماده گرم شده و دمای آن به نقطه تبخیر می رسد. مولکول‌های ماده تبخیر شونده پس از تبخیر به سمت زیرلایه حرکت می کنند و یک لایه نازک روی سطح زیرلایه تشکیل می دهند. مواد بسیاری می توانند با استفاده از این روش لایه نشانی شوند از جمله، آلومینیوم، نقره، نیکل، کروم، منیزیم و ….