اندازه گیری مقاومت سطحی با پروب چهارنقطه ای

پروب چهارنقطه ‏ای (  4point probe)

به منظور اندازه‏ گیری مقاومت سطحی یا مقاومت ویژه رسانا‏ یا نیمرساناها از دستگاه پروب چهار نقطه ‏ای استفاده می‏ گردد. از آنجا که مقاومت می‏تواند بر مقاومت سری، ولتاژ آستانه، ظرفیت خازنی و دیگر پارامترها تاثیر گذار باشد، اندازه‏ گیری مقاومت مواد نیمرسانا یکی از رایج‏ ترین تست‏های الکتریکی است. در این دستگاه چهار پروب با فاصله‏ های یکسان از یکدیگر در تماس با نمونه ‏ای قرار می‏ گیرند که مقاومت آن نامشخص است. پروب‏ ها در یک خط مستقیم قرار دارند و دو پروب اول و آخر به عنوان چشمه جریان و دو پروب وسطی برای اندازه‏ گیری ولتاژ استفاده می‏شوند. هر پروب با فنری که خاصیت ارتجاعی دارد، حمایت می‏ شود که آسیب به نمونه را در طول اندازه‏ گیری به حداقل می‏رساند. فاصله بین مرکز دو پروب‏ 1 تا 3 میلی‏متر است و قطر هر پروب 2/5 میلیمتر می ‏باشد. در این دستگاه یک جریان ثابت از طریق دو پروب دورتر به نمونه اعمال می ‏شود و دو پروب وسطی میزان اختلاف پتانسیل یا افت ولتاژ بین دو پروب را اندازه‏ گیری می‏ کند. دقت اندازه‏ گیری با دستگاه پروب چهار نقطه‏ ای به عواملی از جمله جنس و سختی نمونه، جنس پروب، سطح نمونه و فشار پروب وابسته است.

کاربردهای دستگاه پروب چهار نقطه ‏ای:

اندازه ‏گیری مقاومت سطحی لایه‏های فلزی، لایه‏ های نیمه هادی، الکترودهای شفاف مانند FTO و ITO

بررسی کیفیت و ضخامت لایه‏ نشانی در مکان‏های مختلف نمونه

بدست آوردن مقاومت ویژه (با داشتن ضخامت)

اندازه‏ گیری ضخامت لایه (با داشتن مقاومت ویژه)

مشخصات دستگاه:

اندازه گیری مقاومت سطحی  لایه های نازک

اندازه گیری مقاومت سطحی از  تا

قابل استفاده برای لایه های نرم و آسیب پذیر

اعمال جریان از 1 تا 200 میلی آمپر

اندازه گیری ولتاژ از صفر تا 30 ولت

اندازه گیری جریان با دقت 1 میکروآمپر

پین های بریلیوم مس آبکاری شده با طلا برای حداقل مقاومت تماسی

فاصله پین ها 2/5 میلی‏متر

شعاع تماس هر پین 2 میلیمتر

پایه کاملا عمودی برای کنترل دقیق حرکت 4 پین با دقت 10 میکرومتر

دستگاه فوق از نمایشگاه تجهیزات ساخت داخل در سال 94 خریداری شده است و ساخت شرکت صنعت‏ نما‏ جوان می‏ باشد.

تلفن: 09130258871