ضخامت سنجی لایه های نازک

ضخامت سنج سوزنی دستگاه اندازه‏ گیری است که با استفاده از تکنیک سوزنی(stylus) بر پایه تغییرات اپتیکی می‏توان کیفیت سطح، میزان زبری، ضخامت آن را  اندازه‏ گیری کرد. البته کارایی اصلی این دستگاه در ضخامت‏ سنجی می باشد. دستگاه موجود از شرکت نانوپژوهان راگا در سال 95 خریداری شده است و قادر به اندازه گیری ضخامت بین 70 نانومتر تا حداکثر 7 میکرومتر می باشد، هر چند دقت دستگاه در ضخامت های بالاتر بیشتر بوده و زیر 100 نانومتر دقت خوبی ندارد. به طور کلی دقت دستگاه + و - 10نانومتر است. میزان اسکن دستگاه بر روی سطح 1 میلی‏متر می ‏باشد. بدیهی است که برای اندازه ‏گیری ضخامت لایه باید لبه تیزی درست کرد و حدفاصل بین نقطه ‏ای که لایه می‏ باشد و جایی که به عنوان مرجع عدم وجود لایه است، حداکثر 500 میکرومتر باشد.

تلفن: 09130258871