اندازه گیری مقاومت سطحی با پروب چهارنقطه ای
پروب چهارنقطه ای ( 4point probe)
به منظور اندازه گیری مقاومت سطحی یا مقاومت ویژه رسانا یا نیمرساناها از دستگاه پروب چهار نقطه ای استفاده می گردد. از آنجا که مقاومت میتواند بر مقاومت سری، ولتاژ آستانه، ظرفیت خازنی و دیگر پارامترها تاثیر گذار باشد، اندازه گیری مقاومت مواد نیمرسانا یکی از رایج ترین تستهای الکتریکی است. در این دستگاه چهار پروب با فاصله های یکسان از یکدیگر در تماس با نمونه ای قرار می گیرند که مقاومت آن نامشخص است. پروب ها در یک خط مستقیم قرار دارند و دو پروب اول و آخر به عنوان چشمه جریان و دو پروب وسطی برای اندازه گیری ولتاژ استفاده میشوند. هر پروب با فنری که خاصیت ارتجاعی دارد، حمایت می شود که آسیب به نمونه را در طول اندازه گیری به حداقل میرساند. فاصله بین مرکز دو پروب 1 تا 3 میلیمتر است و قطر هر پروب 2/5 میلیمتر می باشد. در این دستگاه یک جریان ثابت از طریق دو پروب دورتر به نمونه اعمال می شود و دو پروب وسطی میزان اختلاف پتانسیل یا افت ولتاژ بین دو پروب را اندازه گیری می کند. دقت اندازه گیری با دستگاه پروب چهار نقطه ای به عواملی از جمله جنس و سختی نمونه، جنس پروب، سطح نمونه و فشار پروب وابسته است.
کاربردهای دستگاه پروب چهار نقطه ای:
اندازه گیری مقاومت سطحی لایههای فلزی، لایه های نیمه هادی، الکترودهای شفاف مانند FTO و ITO
بررسی کیفیت و ضخامت لایه نشانی در مکانهای مختلف نمونه
بدست آوردن مقاومت ویژه (با داشتن ضخامت)
اندازه گیری ضخامت لایه (با داشتن مقاومت ویژه)
مشخصات دستگاه:
اندازه گیری مقاومت سطحی لایه های نازک
اندازه گیری مقاومت سطحی از تا
قابل استفاده برای لایه های نرم و آسیب پذیر
اعمال جریان از 1 تا 200 میلی آمپر
اندازه گیری ولتاژ از صفر تا 30 ولت
اندازه گیری جریان با دقت 1 میکروآمپر
پین های بریلیوم مس آبکاری شده با طلا برای حداقل مقاومت تماسی
فاصله پین ها 2/5 میلیمتر
شعاع تماس هر پین 2 میلیمتر
پایه کاملا عمودی برای کنترل دقیق حرکت 4 پین با دقت 10 میکرومتر
دستگاه فوق از نمایشگاه تجهیزات ساخت داخل در سال 94 خریداری شده است و ساخت شرکت صنعت نما جوان می باشد.
